FHR.Flash.50-Module

Модуль ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа
Применение: отжиг и плавление материалов в миллисекундном диапазоне
Подложкодержатель для подложек диаметром до 100 мм (опционно – 250 мм)
Количество импульсных ламп: 8 шт.
Количество ламповых цепей: 4 шт.
Длительность импульса лампового отжига от 0,8 до 20 мсек
Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см²
Электрическая мощность (20 мсек): 2,5 МВт
Максимальная температура поверхности: до 1500°C (зависит от свойств материала подложки и температуры предподогрева)

Обратная связь